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第十一章 国产第一台极紫外光刻机（第2页）

如果真的可以做到这些，那么国家的半导体产业将会迈出史诗性的第一步！

终于，在万众瞩目中，进度条拉满！

一块晶圆被吐了出来，机械臂再度吸起来，然后放入蚀刻机。

这个步骤不复杂，只是将暴露的单晶硅蚀刻掉。

露出光刻后的凹槽。

然后注入离子，让单晶硅拥有晶体管开关的特性。

在用铜进行晶体管间的连接工作。

在芯片彻底产出之前，大家都不敢说话。

时间一分一秒过去，终于到了切割的步骤。

终于，晶圆被切割成了700片小的芯片。

苏晨这个时候立刻去开始查看数据。

随后他憔悴的脸露出了淡淡的微笑。

他看向自己的老师，对方已经明白了结果。

“我宣布，国产第一台极紫外光刻机，研制成功！”

声音徐徐落下，所有科研人员都猛地起身，发出了雷鸣一般的掌声！

甚至有的人激烈的拥抱在了一起！

“成功了！！！！5n芯片啊！！！！”

“我们可以挺起腰杆来做人了！”

“极紫外光刻机！5n芯片！！！外国佬，就你们有5n？”

……

是的，接下来只要能研究出来图谱，那么这台光刻机就能制造出来！

几位院士也老泪纵横。

他们没想到居然真的成功了！

其实他们来之前，还是觉得这次会失败的！

但是现实告诉了他们结果！

“小苏，干的漂亮啊！”

“杨平，你后继有人了！这次你和小苏都立了大功啊！”

“我国有杨平和苏晨，半导体行业才能如此突飞猛进啊！”

几个院士说的毫不夸张！

杨平研究了芯片图谱出来，而苏晨拿出了光刻机图谱出来。

这一前一后，可以说是相辅相成！

在大家庆祝的时候，只有杨平一个人默默的进入了净室。

他扶着身心俱疲的苏晨一起从净室出来。

“老师，详细的数据报告还需要一会儿时间，我可以再等等。”

苏晨很想等到详细数据报告。

因为刚刚那个数据只是代表着光刻机的生产成功了。

但是看不出良品率的高低。

一台光刻机一定要看良品率。

说白了，一片12英寸的晶圆，可以切割700片手机芯片。

但是能用的只有500左右。

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