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七月初,海湾科技再一次给徐申学报喜,说是已经研发出来了DUV干式光刻机的样机,正准备进行第一次开机测试。
得到这个消息后,徐申学推掉了其他的行程,当天就去了海湾科技。
抵达海湾科技后,王道林一脸喜色的带着徐申学参观了他们最新的研发成果:一台完全自研的DUV干式光刻机。
“从光源系统到物镜,再到机台等所有的子系统整合以及部分关键零部件,都是由仙女山控股旗下或柳河投资,智云科技旗下的兄弟公司所提供,此外这些子系统的背后所需要的众多零部件,除了我们自家的兄弟公司外,还有其他超过一千多家国内企业供应。”
“参与这个项目研发的企业数量,直接或间接达到了接近两千家,各类研究所一百多家,还有十多所著名高校也都参与了进来!”
王道林说着的时候,激动中更带着感叹:“这可是真正的举国之力才能搞出来的顶级设备啊!”
“我们硬是靠着一家之力,做到了整个欧美日韩整个西方体系整合起来才能做到的事情,这难度,比单纯研发一个光刻机更难。”
“如果是依托全球产业链,搞这东西虽然技术难度很高,但是我们要做的也只是系统整合工作而已,难度虽然有,但是不至于有什么代差,给我们ASML的零部件供应商,我都敢放话,最多一年时间就能够弄出来DUV浸润式光刻机甚至进军EUV光刻机!”
“但是我们没有这些全球范围的供应商啊,所以很多东西都只能自己在国内找,实在找不到就只能自己从头研发!”
“DUV光刻机的全部国产化,其难度大的惊人!”
“很多东西都要从原材料开始研发!”
王道林说着的时候,一旁的南江科技的研发部门负责人曹星辰也是接上了话头:“不错!”
“我们公司是搞物镜,为了这个DUV光刻机的物镜,我们是从材料到加工工艺,全都是重新搞的!”
“我们南江科技主导,还拉着一大票研究所,合作企业,同时展开了数十个新材料研究项目,挨个测试各种材料并对材料进行针对性的改进。”
“最终花了两年多时间,这才弄出来了堪用的材料!”
“但是弄出来材料还不行,然后还得加工啊!”
“这加工更难!”
曹星辰说的时候,也是回想起来了之前的研发困境,不由得感叹:“光刻机所需要的镜片精度是非常高的,通常需要达到波长的五十分之一,比如我们这DUV干式光刻机的光源波长是193纳米,五十分之一就是三点八六纳米!”
“这种精度的加工,几乎超过普通人的想象!”
“而我们南光之前在生产I-line光刻机镜片以及KRF光源镜片的时候,采用的是国内现有的一些技术,比如小磨头抛光、磁流变抛光等技术。”
“原有的这些技术用来加工DUV光刻机所需要的镜片还不够!”
“而且想要在原来的技术路线想要获得更大的突破,达到蔡司,尼康等厂家的水准难度非常大。”
“为了解决这一问题,我们的研发团队一边现有技术进行研发,一边开发新技术,其中的一项新技术得到了迅速发展,这就是离子束抛光技术。”
说到这个离子束抛光技术的时候,曹星辰整个人都变的激动了起来:
“这项技术虽然也很难研发,为此耗费了我们大量的人力物力,但是真正做出来后效果那是真的好啊!”
“利用该技术我们可以轻易的加工出来满足DUV干式光刻机需求的镜片,甚至后续工艺继续改进后,搞出来DUV浸润式光刻机的镜片也是问题不大!”
DUV干式光光刻机和浸润式光刻机,虽然使用的光源都是ARF光源,但是浸润式光刻机的光源经过超纯水的折射后,波长却是演变为134纳米。
因为两者虽然光源系统看似一样,但是对物镜以及其他子系统的要求是不一样的。
曹星辰继续说着:“甚至在这项技术上继续耕耘下去,未来是能够搞出来精度更高,可用于EUV光刻机所需要的镜片的!”
一代代光科技的技术升级,除了光源系统不断升级进步外,还需要其他诸多子系统的配合,而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。
以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。
当然,其他方面,比如机台对准等也不能差就是了。
徐申学听着这些话,然后翻看着手中的技术手册,为了照顾徐申学这个不懂技术的人,这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台DUV干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。
也就是之前徐申学常年给自己挂着一个B级科研名额的外挂,然后闲着没啥事的时候也会经常学习,翻看一些技术,尤其是半导体领域的技术资料。
所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数,其背后意味着什么!
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