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这论文给他的感觉大概就是,谁看谁都得懵。
照着论文中的遣词造句,说这只是一篇纯粹理论推导的论文吧,偏偏论文给出了很详实的数据做支撑,那一组组数据的确就像实验室里拿出来的一样。还有对这些数据的分析,真的太详实了。
最重要的是,如果这还只是停留在纸面上的机器,谁会无聊到去为一个根本还没有造出实体的机器去开发一套适配的控制系统?
要知道同时控制28束光的控制系统对于稳定性跟精度的要求近乎都是变态级的。
就好像阿斯麦最先进的极紫外光刻机,首先要将高功率二氧化碳激光脉冲经过几面绝对平整的镜片反射后,照射到一个直径仅仅只有30微米的锡滴液靶材上,然后激发出高功率的135纳米等离子体,并依靠这些等离子体产生波长为135纳米的euv光源对晶圆进行曝光雕刻。
其控制单元对于精度要求之高可见一斑。
虽然乔泽在论文中的设计,对于仪器精度的要求降低了不少。但这毕竟是光刻机,其功能是将无数的晶体管雕刻在硅晶圆上。对稳定性跟精度的要求摆在那里。
更重要的是,这玩意儿如果是真的话,那么相当于同时二十八台光刻设备同时工作,同时加工生产不同制程不同功能的芯片,而且每条通道还能根据生产需要,对光源进行即时调整。
其生产效率跟生产灵活性,要远远高于目前传统的光刻设备。
真的,读完第一篇论文之后布尔就已经彻底呆住了,他甚至懒得翻开第二篇论文。
想到现行的许多政策,华夏人如果真把这种设备造出来,不需要多,哪怕一年只能生产一台,这也是能直接吊打阿斯麦的存在。而且以华夏的工业储备潜力以及对高端光刻技术的渴望,这玩意真要走出了实验室,一年只生产一台几乎是不可能的。
大概要不了几年,这玩意就会遍地开花。
一旦开花之后,接下来可能发生什么,布尔都不敢往下想了。
这就真的很离谱了。
心神激荡之下,他立刻把康妮副主编又叫进了他的主编办公室。
……
“康妮,这篇论文已经有人审过了吧?告诉我,那些专业人士的意见。”
“是的,威尔逊主编,他们甚至已经用计算机进行了一定程度的推演跟验证,根据目前计算的结果,论文给出的数据真实性在百分之八十以上。还有那套控制系统,尝试用虚拟机进行验证,就是模拟了那些论文描述的元器件,然后使用那套系统进行模拟控制,嗯……怎么说呢……除开操作界面过于简陋之外,最终给出的评估分值很高,不说完美,起码也是优秀。比如系统支持对每条通道进行编程,还能模拟生产效果。”
“但这篇论文明明说的是他只是进行了理论方面的推导跟设计,你看看这里对束光器的描述,他甚至用了构想这个词……”
“是啊,是啊,这就是大家都觉得矛盾之处了。让我们假设这些都是理论推导的,但那些数据该怎么解释?而且正常情况下,我无法想象,在没有实物的情况下完全仅凭想象就能开发一套适配的系统,其中甚至还包含了最底层每个器件的驱动,以及对分辨率的精细化调整。”
布尔·威尔逊不说话了,也不知道该说点什么。
毕竟从业这么多年,他还真没见过如此奇怪的论文。奇怪到他甚至要跟副主编坐在一起,分析这篇论文里写的东西,到底是真实存在,还是仅仅存在于纸面上的构想。
“布尔,感觉很奇怪对吗?刚才我又跟沃尔特聊了聊这篇论文,你知道他怎么说吗?”
布尔·威尔逊微微颔首,示意康娜别卖关子了。
“这篇论文给他的感觉就像是一个小孙子想要炫耀一些他见识到的好东西,但又怕其他人觉得这东西真的存在会跟他抢,所以用了许多模糊性词汇跟一些真实数据缝合,于是就有了这篇论文。”
这么一说,布尔·威尔逊突然觉得恍然大悟。
对啊,他其实也是这种感觉,只是太过怪异,他不知道如何形容。
毕竟光刻机这玩意儿,可不是小孩子的玩具。
“那个乔泽的年纪好像不大?”
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