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第十一章 国产第一台极紫外光刻机（第1页）

此时大家都是通过外面的屏幕来观看里面的实验。

因为人太多，就会带入很多细菌和灰尘。

此时苏晨在实验室中担任指挥，其他科研人员都在紧急调配。

里面是一个非常小巧的机器。

大家看了以后都很疑惑。

因为极紫外光刻机大家不是没有见过。

体型非常庞大！

毫不夸张的说，相当于一辆公共汽车大小！

通体白色，非常占地方。

而净室里的机器看去只有一张办公桌那么大，机型是黑色的。

看去就像是国外生产光刻机的斯麦尔集团生产的阉割版。

让人有些担心，这种机器真的可以做到7n、5n，乃至未来几年会出现的3n的光刻任务吗？

此时里面的苏晨已经恢复了精神，面色平静，没有一丝感情。

似乎他已经没有体力让自己兴奋起来！

“老师，实验可以开始了。”

苏晨开口说道。

杨平按下麦克风的按钮：“第9次芯片生产实验，启动！”

随着一声令下。

科研人员操作者机械臂，吸附起了一块12英寸的晶圆。

放入正在传送的履带之后，晶圆被拖动进入了黑色的光刻机之中。

旁边的操作人员紧张的汇报着数据。

因为过于紧张，连声音都有些颤抖。

“报告……启动程序无故障！”

“电压稳定设备运行正常！”

“监控设备运行正常！”

“……”

此时整个研究室鸦雀无声，落针可闻！

大家仿佛可以听到，机器中低落的液态金属锡被光脉冲轰击的声音。

要知道，这东西的声音人类几乎不可能捕捉到！

但是此时大家就是可以听到！

出了仪器发出的细微声响之外。

整个净室，哪怕大家相距胜远，都能听到彼此的呼吸声！

苏晨目光在这一刻死死地盯着主控台的主屏幕，看着显示屏幕的光刻进度条。

进度条一点点的衍生，他的手心开始湿润了起来。

这场实验已经接近十次了！

这次是最接近成功的一次！

极紫外光刻机太重要了。

有了它，只要有了芯片图谱，就可以制造出来相应的芯片！

而就在不久之前，杨平实验了5n芯片图谱，还在实验阶段！

而今天，他们就是要利用光刻机生产5n芯片！

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