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第63章 小精灵和松鼠（第2页）

“今天是星期四，就后天吧”张中某沉吟了一下说。

“没问题，那我就等后天跟你一起回去吧。”

“好的，一言为定。”

星期六一早，黄奕华和张中某坐上了飞往旧金山国际机场的飞机。一下机，就坐上李度开来的车直扑位于硅谷的小精灵芯片公司。

到了公司，只稍微休息了一下，张中某就迫不及待地提出要进车间了。

一进车间，张中某就被车间的布局给震撼到了，特别是几台从未见过的机器更是紧紧地吸引住他的眼光。

盯了一会儿，张中某才略带着期待的目光问：“这些是光刻机？”

“没错，这些光刻机平均每小时能刻100张晶圆。”黄奕华点点头说。

“这么快，这是那个公司的产品，我怎么没见过”张中某问。

“这是我旗下一家机械公司做的，能领先世界其他公司三到五年。”黄奕华笑了笑说。

其实光刻机在这个时代并不是什么特别的高科技。

60年代时，半导体公司通常自己设计工装和工具，比如英特尔开始是买16毫米摄像机镜头拆了用。

只有GCA，K&S和Kasper等很少几家公司有做过一点点相关设备。

60年代末，日本的尼康和佳能开始进入这个领域，毕竟当时的光刻不比照相机复杂。

70年代初，光刻机技术更多集中在如何保证十个甚至更多个掩膜版精准地套刻在一起。

Kasper仪器公司首先推出了接触式对齐机台并领先了几年，Cobilt公司做出了自动生产线，但接触式机台后来被接近式机台所淘汰，因为掩膜和光刻胶多次碰到一起太容易污染了。

1973年，拿到美国军方投资的PerkinElmer公司推出了投影式光刻系统，搭配正性光刻胶非常好用而且良率颇高，因此迅速占领了市场。

1978年，GCA推出真正现代意义的自动化步进式光刻机（Stepper），分辨率比投影式高5倍达到1微米。

这个怪怪的名字来自于照相术语StepandRepeat，这台机器通俗点说把透过掩膜的大约一平方厘米的一束光照在晶圆上，曝光完一块挪个位置再刻下一块。

由于刚开始Stepper生产效率相对不高，PerkinElmer在后面很长一段时间仍然占具主要的地位。

80年代一开始，GCA的Stepper还稍微领先，但很快尼康发售了自己首台商用StepperNSR-1010G，拥有更先进的光学系统极大提高了产能。

两家一起挤压了其它厂商的份额，尤其是PerkinElmer的投影式光刻。

P&E的市场份额从80年超过3成快速跌到84年不到5%。

而黄奕华的这些光刻机就是在尼康StepperNSR-1010G的基础上做了些改动而成的。

这时的光刻机主要还是原理和设计上的问题，至于配件，要求并没有高到哪里，几乎在尼康就能买齐，不过为了保密，黄奕华分别让不同的人分散开并在不同的厂家购买，天工机械那边主要是作一些加工和组装的工作。

这也是黄奕华能轻松地就弄出这些光刻机的原因。

同时，天工机械在还没生产这些光刻机时就已经申请了专利。

听了黄奕华的话，张中某又问道：“这款光刻机准备什么时候推出市场？”

“不会推出市场，不过我倒是买了专利，对于这款光刻机你可要保密，呵呵呵”黄奕华摇摆头说。

听了黄奕华的话，张中某倒吸了口冷气，心中暗想“好大的魄力，好沉的心思啊，好长远的目光啊！为了让自己的产品有优势，竟然把一款新研发的机器给捂死掉。”沉默了一会，张中某轻轻地问：“不觉得可惜吗？这可是名利双收的事啊。”

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